PECVD60高真空管式爐的主要特點：
1.氣體預熱——增加前端氣體預熱區，沉積速度更快，成膜效果更好；
2.AIO控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統一集中調節和操控，協調控制——科探AIO控制系統；
3.管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測，自動平衡管內壓力。
4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；
5.射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，自動運行；
6.爐膛移動速度可調——根據實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離；
7.整機結構融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
當前位置：